5月18日消息，據韓國媒體《etnews》報導，南韓業界人士透露，三星內部已決定，將投資約190億美元，在已有三星晶圓廠的美國德克薩斯州奧斯汀新建一座先進制程晶圓廠，將采用EUV技術。預計該項目將于2021年三季度開始啟動，目標是2024 年開始投產營運。

這是三星首次在海外建立EUV 生產線，預計聚焦先進的5nm制程技術。而三星的這投資也是回應美國對先進制程芯片需求增加，以及美國政府決定重新建立美國半導體供應鏈計劃下進行的大規模投資，并且該項目還有望獲得美國的500億美元芯片補貼計劃的支持。

三星在德州奧斯汀地區原本就有一座14nm/28nm及以上成熟制程為主的晶圓廠，今年2月曾因美國暴風雪氣候斷電后缺水停工，也讓美國汽車芯片供應更吃緊，導致美國政府在汽車產業要求下，計劃積極吸引海外半導體廠到美國設廠量產。

三星在競爭對手臺積電與英特爾陸續宣布將在美國新建先進制程晶圓廠的壓力下，原本就計劃跟進，積極在美國建立相關先進制程晶圓廠。先前有報導指出，包括德州、亞利桑那州和紐約州都可能是三星新建晶圓廠的地點。三星決定選擇何處的關鍵在于美國各級政府提供的補貼。這次傳出選擇德州并不意外，除了三星在德州已有晶圓廠以及德州的半導體制造集群優勢，相信德州政府也會給予三星滿意的補助條件。報導仍強調，正式投資內容可能在21日舉行的美韓高峰會前后公開，屆時才能確認細節。

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